電子級(jí)四氯化硅主要用于薄膜沉積與蝕刻工藝，隨著半導(dǎo)體制程的先進(jìn)化，電子級(jí)四氯化硅被廣泛使用于邏輯芯片與存儲(chǔ)芯片的蝕刻工藝流程。
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用四氯化硅的技術(shù)要求、檢驗(yàn)規(guī)則、試驗(yàn)方法、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、儲(chǔ)存及安全的要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于工業(yè)四氯化硅精制提純后的電子工業(yè)用四氯化硅。
名稱：填充柱
材質(zhì)：316L不銹鋼管
規(guī)格：3m*2mm*1/8
粒度：0.18mm-0.25mm
型號(hào)：Hayesep Q
應(yīng)用：GB/T 38867-2020 電子工業(yè)用四氯化硅
浩瀚色譜（山東）應(yīng)用技術(shù)開發(fā)有限公司，采用氣相色譜法，預(yù)柱+毛細(xì)管柱的系統(tǒng)測定電子工業(yè)用四氯化硅中三氯氫硅，二氯硅烷，甲基二氯硅烷，柱效高，分離好，結(jié)果滿意。
Haohan GC System 氣相色譜儀
現(xiàn)代實(shí)驗(yàn)室始終面臨各種各樣的實(shí)際問題，需要采用切實(shí)可行的方法予以解決。處理復(fù)雜樣品基質(zhì)、保持?jǐn)?shù)據(jù)完整性以及滿足用戶培訓(xùn)需求等問題可能導(dǎo)致大量的時(shí)間和資源浪費(fèi)。
Haohan GC System 氣相色譜儀， 是浩瀚為這些問題提供的一款，快速氣相色譜儀，在環(huán)境，生物，食品，醫(yī)藥，石化，衛(wèi)生，院校等行業(yè)得到廣泛應(yīng)用.
Haohan GC System 氣相色譜儀詳情：
1. 工作條件
1.1. 溫度： 5°C -- 35°C
1.2. 濕度：5 – 85%
1.3. 電源：AC 220±10%；50±0.5Hz
2. 柱溫箱
2.1. 溫度：室溫5°C -- 400°C
2.2. 程序升溫：7階程升，可擴(kuò)充16階
2.3. 在5min內(nèi)，從400°C降溫到50°C
2.4. 溫度精度：室溫每波動(dòng)1°C ，柱溫箱的溫度波動(dòng)＜0.1°C
2.5. 雙通道柱流失補(bǔ)償
3. 加熱區(qū)域
3.1. 除柱溫箱外，有5個(gè)獨(dú)立的加熱區(qū)域（3個(gè)進(jìn)樣口，2個(gè)檢測器，2個(gè)輔助區(qū)）/可擴(kuò)充
3.2. 輔助區(qū)的最大溫度：400°C
4. 隔膜吹掃填充柱進(jìn)樣口
4.1. 手動(dòng)控制壓力/流量（可選配電子控制）
4.2. 最高溫度400°C
4.3. 壓力設(shè)定范圍：0－100psi
4.4. 氣體流量設(shè)定范圍：0－100mL/min
4.5. 可用于1/4”、1/8”填充柱和0.53mm毛細(xì)柱
5. 分流/不分流進(jìn)樣口
5.1. 可以用于50um到530um的色譜柱
5.2. 分流比最大可到3000:1
5.3. 省氣模式可以節(jié)約氣體用量（選配）
5.4. EPC功能（選配）。
5.5. 電子控壓精度：0.001 psi（千分之一psi）（選配）
5.6. 最高溫度400°C
5.7. 壓力范圍：0 -- 100psi
6. 冷柱頭進(jìn)樣系統(tǒng)（選配）
7. 顯示屏
320*240英寸中英文顯示界面，更適合產(chǎn)品的出口。
8. 檢測器
8.1氫火焰離子化檢測器（FID）
最高使用溫度：400℃
最小檢出限：≤2.5*10 -12 g/s(n-C16)
線性范圍：107（±10%）
噪聲≤5×10-14A
漂移≤2×10-13 /30min
自動(dòng)點(diǎn)火方式（選配）
8.2熱導(dǎo)檢測器（TCD）
適配填充柱及毛細(xì)管柱
最高使用溫度：300℃
靈敏度S≥3000mv.ml/mg（苯）
靈敏度S≥5000mv.ml/mg（選配）
靈敏度S≥8000mv.ml/mg（選配）
靈敏度S≥10000mv.ml/mg（選配）
線性范圍：105（±5%）
漂移：≤0.1mv/30min
噪聲：≤20uv
8.3火焰光度檢測器（FPD）
最高使用溫度：350℃
最小檢出限：<2*10 -11 g S/s, <9*10 -13 g P/s
線性范圍：>103 S, 104 P
自動(dòng)點(diǎn)火方式（選配）
8.4電子捕獲檢測器（ECD）
最高使用溫度：400℃
最小檢出限：≤1*10 -14 g/s
線性范圍：>5*105（±5%）
放射源：<10 mCi, 63Ni
微池設(shè)計(jì)
8.5氮磷檢測器（NPD）
最高使用溫度：400℃
最小檢出限：≤3*10 -12 g/s
線性范圍：105 N, 105 P
最小檢測限：<2*10 -13 g N/s, <2*10 -13 g P/s
自動(dòng)點(diǎn)火方式（選配）
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