隨著我國(guó)工業(yè)的發(fā)展,對(duì)半導(dǎo)體元件的需要量也日益增長(zhǎng)。為了繼續(xù)提高產(chǎn)品質(zhì)量,提高原料的純度也是關(guān)鍵問(wèn)題之一。據(jù)根生產(chǎn)廠要求,在以三氯氫硅為原料生產(chǎn)多晶硅中,需建立一套對(duì)粗料中三氯氫硅含量和精餾后三氯氫硅純度的分析方法。氣相色譜法具有簡(jiǎn)單、快速的特點(diǎn),國(guó)內(nèi)外已有許多分析工作者將其用于測(cè)定三氯氫硅。但由于三氯氫硅遇水分解,使進(jìn)樣注射器針頭堵塞,和熱導(dǎo)池?zé)崦粼?鎢絲)易被腐蝕損壞,給分析帶來(lái)了一定的困難。
針對(duì)以上問(wèn)題,浩瀚色譜(山東)應(yīng)用技術(shù)開(kāi)發(fā)有限公司加工試制了液體進(jìn)樣裝置,DC550填充柱測(cè)定工業(yè)三氯氫硅,柱效高,分離好,結(jié)果滿意。
名稱(chēng):DC-550填充柱
規(guī)格:3m*1/8
使用溫度:240°C
每一根色譜柱經(jīng)嚴(yán)格測(cè)試
色譜柱種類(lèi)全
的技術(shù)支持
多年積累豐富的色譜分析經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)團(tuán)隊(duì)
采用的不銹鋼管、玻璃管和色譜填料制作各種填充色譜柱
如需要用不銹鋼過(guò)濾網(wǎng)作為柱兩端堵頭,請(qǐng)?jiān)谟嗀洉r(shí)注明
若采用柱上進(jìn)樣,柱入口前端將留有6CM 的空間,
為防止色譜填料流出,柱兩端均用硅烷化玻璃棉封堵
若采用閥進(jìn)樣或非柱上進(jìn)樣的色譜柱,其柱入口處被填滿
可提供多種型號(hào)氣相色譜儀所用玻璃柱構(gòu)型
2mm內(nèi)徑玻璃柱管的入口處均設(shè)有斜面以利進(jìn)樣
每根色譜柱均經(jīng)過(guò)充分老化和嚴(yán)格質(zhì)量評(píng)價(jià)測(cè)試
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